ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ
(499)3914459
Pfeiffer Vacuum | Odem | TAV | PVA TePla AG | Mewasa |
Главная » Pfeiffer Vacuum » Вакуумные безмасляные насосы » MVP
![]() |
|
Диафрагменные вакуумные насосы представляют собой безмасляные насосы объемного вытеснения. Насосная система представляет собой соединительный шток (4) с приводом от коленчатого вала передвигает диафрагму (1), натянутую между крышкой головки (2) и корпусом (3). Пространство между крышкой и диафрагмой образует камеру всасывания (5). Для обеспечения согласованного вытеснения газа в диафрагменных насосах предусмотрены впускные и выпускные клапаны (6). Для этой цели используются затворные клапаны с регулируемым давлением из эластомерных материалов. Поскольку камера всасывания герметично изолирована от привода диафрагмой, среда насоса защищена от попадания в него масла, а механические элементы – от разрушительного воздействия агрессивной среды. Наличие вредного пространства между выпускным клапаном и камерой всасывания приводит только к ограничению коэффициента компрессии. Это означает, что с помощью одной ступени насоса может быть обеспечено предельное давление только приблизительно 70 мбар. Путем последовательного соединения нескольких ступеней насоса удается уменьшить предельное давление до 0,5 мбар. Дальнейшее понижение давления невозможно, поскольку отсутствует достаточная сила, необходимая для открытия впускного клапана. Данные диафрагменные насосы особенно подходят для низких скоростей откачивания приблизительно 10 м3/ч.
Применение безуглеводородных камер всасывания делает возможным использование диафрагменных насосов в качестве безмасляных форвакуумных насосов для турбомолекулярных насосов со ступенью Хольвека. Даже двухступенчатые диафрагменные насосы, достигающие предельного давления приблизительно 5 мбар, могут использоваться в качестве форвакуумных насосов для турбонасосов Хольвека. Чистый вакуум таких насосов особенно ценен для аналитических целей. Диафрагменные насосы также не отводят водяные пары без газового балласта. Даже малое количество водяных паров, выделяющееся из стенок оборудования высокого вакуума, способно обеспечить значительное повышение предельного давления. Тем не менее, некоторые диафрагменные насосы оснащены газобалластными клапанами, работающими в соответствии с запатентованной технологией. Для этой цели газ подается в соединительный канал между первой и второй ступенями двухступенчатого диафрагменного насоса и через небольшое отверстие сообщается с камерой всасывания первой ступени. Если скапливаются большие объемы влаги, а диафрагменный насос используется без газового балласта, то в этом случае с целью предотвращения образования конденсата в насосе необходимо использовать соответствующие устанавливаемые на входе сепараторы или охлаждающие ловушки. Тем не менее, предельное давление будет увеличиваться.
Диафрагменные насосы, предлагаемые Pfeiffer Vacuum, представлены в широком разнообразии моделей. Они отличаются предельными давлениями и скоростями откачивания. Скорость откачивания составляет от 6 до 160 л/мин (0,36–9,6 м3/ч). Двухступенчатые насосы обеспечивают предельное давление менее 4 мбар, а четырехступенчатые – менее 0,5 мбар. Для откачивания коррозионных газов специально разработаны насосы, имеющие диафрагму с покрытием и коррозионно-стойкий корпус.
Модель | Скорость откачивания, м3/ч | Предельное давление, мбар |
MVP 006-4 | 0,28 | ≤ 2,0 |
MVP 015-2 | 0,9 | ≤ 3,5 |
MVP 015-4 | 0,9 | ≤ 0,5 |
MVP 040-2 | 2,3 | ≤ 4,0 |
MVP 070-3 | 3,8 | ≤ 1,0 |
MVP 070-3 C | 3,4 | ≤ 1,5 |
MVP 160-3 | 9,6 | ≤ 2,0 |
MVP 160-3 C | 8,3 | ≤ 2,0 |